Полупроводниковые вакуумные насосы

Полупроводниковые вакуумные насосы

Полупроводниковые вакуумные насосы, являющиеся сердцем производства в чистых помещениях, точно-разработаны с учетом исключительно строгих требований производства микроэлектроники. Эти насосы созданы для создания идеально чистой, стабильной и -разреженной вакуумной среды, что абсолютно важно для процессов, где даже микроскопическое загрязнение может привести к катастрофическому выходу продукта из строя. В продуктах повсеместно используются -безмасляные и устойчивые к коррозии- конструкции, часто с использованием специальных материалов, способных противостоять агрессивным технологическим газам.

Описание продукции

 

Сердце производства чистых помещений,Полупроводниковые вакуумные насосыпрецизионно-сконструированы с учетом исключительно строгих требований производства микроэлектроники. Эти насосы созданы для создания идеально чистой, стабильной и -разреженной вакуумной среды, что абсолютно важно для процессов, где даже микроскопическое загрязнение может привести к катастрофическому выходу продукта из строя.продуктповсеместно используют-безмасляные и коррозионно-стойкие-конструкции, часто с использованием специальных материалов, способных противостоять агрессивным технологическим газам. Они достигают необходимого высокого уровня вакуума, обычно до 0,001 Паскаля, с регулируемой скоростью потока и спроектированы так, чтобы иметь чрезвычайно низкие профили вибрации, чтобы предотвратить повреждение деликатных наноструктур.

 

Их философия модульной конструкции обеспечивает простую интеграцию в сложные наборы инструментов и облегчает обслуживание, что имеет решающее значение для минимизации дорогостоящего простоя инструмента. Основное применениеПолупроводниковые вакуумные насосыКак следует из названия, они относятся к полупроводниковой промышленности, где они используются практически на каждом этапе производства чипов, от травления и осаждения до ионной имплантации и литографии. Они также жизненно важны в смежных областях, таких как электронная упаковка и производство фотоэлектрических элементов. Помимо электроники, эти насосы используются в оборудовании по производству резины и пластмасс для обработки полупроводниковых-полупроводниковых-материалов высокой чистоты. В упаковке пищевых продуктов они помогают разрабатывать специализированную упаковку для чувствительных электронных компонентов. В рамках специализированных систем вакуумного нанесения покрытияпродуктнеобходимы для выполнения процессов нанесения покрытий полупроводникового-класса, требующих максимальной чистоты и надежности. Когда успех вашего процесса зависит от безупречного и непоколебимого вакуума,Полупроводниковые вакуумные насосыявляются окончательным и надежным решением.

 

Основные параметры

типНомер

ДЛТ.LG180

ДЛТ.LG360

ДЛТ.LG630

ДЛТ.LG800

ДЛТ.LG1100

Скорость откачки, м3/ч

143

354

625

780

994

Предельное давление, Па

2

2

1

1

1

Скорость вращения, об/мин

2900

2900

2900

2900

2900

Шум Lp, дБ(А)

82

83

83

84

85

Максимальный расход воды, л/мин

8

15

25

35

45

Входной диаметр, мм

50

50

65

100

100

Диаметр выпускного отверстия, мм

40

40

50

80

80

Мощность двигателя, кВт

4

7.5

15

18.5

22

Масса головки насоса, кг

245

350

550

630

780

горячая этикетка : полупроводниковые вакуумные насосы, Китай полупроводниковые вакуумные насосы производители, поставщики, завод

Отправить запрос