Описание продукции
Сердце производства чистых помещений,Полупроводниковые вакуумные насосыпрецизионно-сконструированы с учетом исключительно строгих требований производства микроэлектроники. Эти насосы созданы для создания идеально чистой, стабильной и -разреженной вакуумной среды, что абсолютно важно для процессов, где даже микроскопическое загрязнение может привести к катастрофическому выходу продукта из строя.продуктповсеместно используют-безмасляные и коррозионно-стойкие-конструкции, часто с использованием специальных материалов, способных противостоять агрессивным технологическим газам. Они достигают необходимого высокого уровня вакуума, обычно до 0,001 Паскаля, с регулируемой скоростью потока и спроектированы так, чтобы иметь чрезвычайно низкие профили вибрации, чтобы предотвратить повреждение деликатных наноструктур.
Их философия модульной конструкции обеспечивает простую интеграцию в сложные наборы инструментов и облегчает обслуживание, что имеет решающее значение для минимизации дорогостоящего простоя инструмента. Основное применениеПолупроводниковые вакуумные насосыКак следует из названия, они относятся к полупроводниковой промышленности, где они используются практически на каждом этапе производства чипов, от травления и осаждения до ионной имплантации и литографии. Они также жизненно важны в смежных областях, таких как электронная упаковка и производство фотоэлектрических элементов. Помимо электроники, эти насосы используются в оборудовании по производству резины и пластмасс для обработки полупроводниковых-полупроводниковых-материалов высокой чистоты. В упаковке пищевых продуктов они помогают разрабатывать специализированную упаковку для чувствительных электронных компонентов. В рамках специализированных систем вакуумного нанесения покрытияпродуктнеобходимы для выполнения процессов нанесения покрытий полупроводникового-класса, требующих максимальной чистоты и надежности. Когда успех вашего процесса зависит от безупречного и непоколебимого вакуума,Полупроводниковые вакуумные насосыявляются окончательным и надежным решением.
|
Основные параметры |
типНомер |
||||
|
ДЛТ.LG180 |
ДЛТ.LG360 |
ДЛТ.LG630 |
ДЛТ.LG800 |
ДЛТ.LG1100 |
|
|
Скорость откачки, м3/ч |
143 |
354 |
625 |
780 |
994 |
|
Предельное давление, Па |
2 |
2 |
1 |
1 |
1 |
|
Скорость вращения, об/мин |
2900 |
2900 |
2900 |
2900 |
2900 |
|
Шум Lp, дБ(А) |
82 |
83 |
83 |
84 |
85 |
|
Максимальный расход воды, л/мин |
8 |
15 |
25 |
35 |
45 |
|
Входной диаметр, мм |
50 |
50 |
65 |
100 |
100 |
|
Диаметр выпускного отверстия, мм |
40 |
40 |
50 |
80 |
80 |
|
Мощность двигателя, кВт |
4 |
7.5 |
15 |
18.5 |
22 |
|
Масса головки насоса, кг |
245 |
350 |
550 |
630 |
780 |
горячая этикетка : полупроводниковые вакуумные насосы, Китай полупроводниковые вакуумные насосы производители, поставщики, завод
